第(3/3)页 “……” 知道了症结,要解决就容易了,赵国笑着对何振华说:“何教授,我有办法,你信吗?” “你有办法?” “加一层隔离金属层就行!” 用一层金属层将铝与硅隔离开来,隔绝彼此扩散。 何振华摇摇头说:“我们也想着用一层金属隔离层,但还没有找到合适的材料!” 有时候就是这么扯淡,很多时候,就因为一个小东西,阻挡技术进步多年,等到公开后,才发现,特么的就是一個屁。 “何教授,试一试用钨,上次你做发光半导体用的金属原子蒸馏器就可以,晶片上硅衬底上,先沉积一层钨薄膜,再上铝导线层。” “真的能行?” 何振华眼睛直直的看向赵国庆,要是真能行的话,直接从五微米制程,进展到一微米制程,这意义,不可谓不大。 高昌明也坐不住了。 “国庆,科技部刚刚发的文件,要巩固五微米,攻关三微米,迈步一微米制程,你这不咸不淡的一句话,科技部发的文倒成了笑话了。” “有这文件?我还以为我们可以生产一微米制程的芯片呢?” “……” 何振华摇摇头。 “也不费事,设备都有,试试看吧!” ………… 赵国庆长呼一口气,能帮的也就这么些了,不过这些透镜、光刻蚀刻材料都是日本进口的,也是挺让人忧虑的。 还有就是工艺自动化,如果不解决,光刻机项目永远没办法商用,也就是说永远没有自动造血能力。 赵国庆跟高昌明说:“高所长,如果有可能的话,14所还是要进几台尼康的光刻机。” 现在的asml还是个小弟,最先进的还属日本的光刻机,能搞几台进行逆向工程,积累一些技术基础,还是很有必要啊! 第(3/3)页