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    “校准采用的是人工校准！”

    光刻流程不是一步到位，有时候需要反复多次，所以再次光刻，位置如果有细微的改变，往往意味着制造失败，所以需要校准。

    而校准的办法就是在晶片上留下一个标志，以这个标志来校正。

    何振华摇摇头。

    “国内最先进的魔都电机厂都没有合适的伺服电机，国内的光压传感器灵敏度不够，只能用人工校准，我们采用三轴人工校准装置，误差可以精确在一百纳米。”

    赵国庆摇摇头，这台光刻机根本没有商业方面的使用前途，xyz三轴人工校准，虽然没看他们操作，时间上肯定不会短。

    “光刻胶，蚀刻氟化氢……”

    “进口日本的？”

    “曝光用的透镜呢！”

    “进口日本尼康！”

    好吧，赵国庆大概也明白了。

    “之所以没办法制造一微米制程的芯片，是不是因为晶体管连接的铝导线的原因？”

    何振华惊讶的看向赵国庆，这事他可一点也没有向赵国庆透露。

    高昌明亦是长叹，这小赵一次又一次刷新他的认知。

    看看何振华的表情就明白了，第一次见面的时候，是高高在上的姿态，今天呢，已经把赵国庆当成一个平等对待的人了，而现在，似乎稍微带着一点仰视。

    “你怎么知道的？”

    赵国庆若无其事的说道：“光源、透镜、校准，还有胶体、蚀刻材料都没有问题，那只能是晶体管铝互联发生了问题，谁都知道，硅衬底跟金属铝会发生扩散，制程越小扩散越严重，直到不能工作！”

    “我如果猜的没错的话，你们三微米，甚至五微米制造的芯片，恐怕也不能实现设计的频率吧！”

    “……”

    谁都知道，为什么我就不知道，高昌明很无语。

    “你怎么知道的？”

    赵国庆说：“何教授，你可以翻一下1974年《微电子行业》期刊，上面就有介绍！”
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